FireDragon
series
スペーサ分布・塊検査装置
■特長
LCDセル工程において、封着前のアレイ基板、またはカラーフィルタ基板に散布されたスペーサの散布密度を基板上の指定された地点について測定し、かつスペーサの塊を基板上の表示エリア画素部内のほぼ全面について検査する装置です。
- アレイ基板上のスペーサも検査可能：TFTアレイ基板に散布されたスペーサも検査可能です。
- スペーサの塊を全面検査：表示エリア内の画素部内について、ほぼ全面にわたって検査できるため、異常を基板ごとにチェックできます。不良を後工程に流しません。
- 全自動インライン型：搬送系を持っているため、全自動で検査が行われます。
- CIMにも対応：オプションにより、上位コンピュータへのデータ伝送も可能です。
■仕様
| SID3600 | ||
|---|---|---|
| 送り込みコンベア | 外コロ式、パルスモータ駆動 | |
| 送り込みシャトル | 内爪式、エアシリンダ駆動 | |
| 測定テーブル | 駆動方法（サーボモーター及びポールネジ）、有効移動量 500mm、ステージスピード：可変 通常500mm/20sec、位置決め精度（外形基準）±1.0mm、位置データ出力精度 ±1.0μm、平行度・平面度 ±50μm、ワークの固定はバキュームにて吸着 | |
| 測定ヘッド | 塊用光学系 | CCDカメラ（CS3500）、対物レンズ（PML-300）、照明器、照明光源（ストロボ） |
| 密度用光学系 | CCDカメラ（CS8330）、対物レンズ（3X）、照明器、照明光源（ストロボ） | |
| 板厚み調整機構 | 0.7mmと1.1mm、エアシリンダー駆動により両側クロスローラーガイド機構にて塊光学系と密度光学系の全体を上下させる。 位置決め精度 ±30μm | |
| 払い出しシャトル | 内爪式エアシリンダ駆動 | |
| 払い出しバッファコンベア | 外コロ式、パルスモータ駆動 | |
| 制御/通信機能 | C200HS（オムロン製） | |
| ※ | 本仕様書の内容及び本製品の仕様について、改善のため予告無く変更する場合があります。ご使用の前に最新の仕様書にて機能・性能をご確認願います。 |
| ※ | 詳細につきましては営業担当までご連絡、もしくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。 |
