CoaXPress 2.0 カメラ EX シリーズ (CMOS・高性能版)
EX670AMG-X / EX670AMCG-X
- CoaXPress 2.0
- 67 MP
- APS-C
- 1.8型
- GS-CMOS
- 白黒
- カラー
- 64.5 fps
- TeliCore
- レンズマウントレス
EX670AMシリーズは、CoaXPress 2.0 規格インターフェースを採用した一体型カメラです。
6,711万画素CMOS センサ搭載により、広い視野を一度に撮影できます。
CXP-12 Quadの採用により、より高速な画像転送が可能です。
筐体サイズは 60mm角と小型であり、設置が容易です。
レンズマウントレス構造で、用途に合わせてレンズを使い分けることができます。
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特長
- e2v 社製 67MP CMOS センサ
- TELI オリジナル新開発 IP コア搭載
- グローバル電子シャッタ
- CoaXPress 2.0 インターフェース
- CXP-12 Quad の採用により、転送帯域 50Gbps を実現
- GenICam®準拠
- IIDC2準拠
- 正方格子配列
- TeliCamSDK によるカメラ制御/画像取得
仕様
白黒カメラ
| 型名 | EX670AMG-X |
|---|---|
| インターフェース | CoaXPress 2.0 |
| 画素数 | 6,711万画素 |
| 撮像素子 | CMOSイメージセンサ |
| 撮像デバイス型名 | EV2S67MB |
| 解像度 | 8,192(H) x 8,192(V) |
| 出力フレームレート | 64.5fps (CXP-12 Quad, Mono 8bit) 31.6fps (CXP-6 Quad, Mono 8bit) 15.8fps (CXP-12, Mono 8bit) 8fps (CXP-6, Mono 8bit) |
| 画素サイズ | 2.5μm x 2.5μm |
| 撮像面積 | 20.48mm(H) x 20.48mm(V) |
| 撮像サイズ | 1.8型 (APS-C) |
| アスペクト比 | 1:1 |
| 走査方式 | プログレッシブ |
| 電子シャッタ方式 | グローバルシャッタ |
| トリガモード | 外部トリガ / ソフトウェアトリガ / リンクトリガ |
| トリガ露光モード | Edge / Level / Bulk (255回) |
| シーケンシャルシャッタ | 最大16エントリー |
| 露光時間 | MANUAL : 10μs ~ 1s ランダムトリガシャッタ : 10μs ~ 1s (Edge / Bulkモード), 200μs ~ パルス幅 (Levelモード) |
| 同期方式 | 内部同期 |
| 光学ガラス/フィルタ | 防塵ガラス |
| 感度 | 2,500 lx (F8, 1/66.7s) |
| 最低被写体照度 | 1 lx (F1.4, ゲイン: +36dB, 映像出力: 50%) |
| ゲイン | マニュアル : 0 ~ +36dB |
| 黒レベル | -25% ~ +25% |
| LUT | 入力12bit, 出力12bit |
| 映像出力フォーマット | Mono12, Mono10, Mono8 |
| 読出しモード | 全画素, スケーラブル, ビニング, 水平反転, 垂直反転 |
| トリガ入力 | Low: 0 ~ 0.5V, High: 2 ~ 24.0V 正/負両極性切換, パルス幅: 最小200μs |
| 電源 | PoCXP または 外部コネクタ : +24V (18.5V~26V) ch1のみ対応 |
| 消費電力 | 13W以下 |
| レンズマウント | マウントレス (Φ50 H7) |
| 外形寸法 | 60(W) x 60(H) x 80(D) mm (突起物を含まず) |
| 質量 | 約280g |
| 使用温度 | 0°C ~ 40°C (筐体表面温度 60°C 以下) |
| 使用湿度 | 10% ~ 90% (非結露) |
| 各種規格 | CE, FCC, RoHS, WEEE, CoaXPress 2.0, GenICam, IIDC2 |
カラーカメラ
| 型名 | EX670AMCG-X |
|---|---|
| インターフェース | CoaXPress 2.0 |
| 画素数 | 6,711万画素 |
| 撮像素子 | CMOSイメージセンサ |
| 撮像デバイス型名 | EV2S67MC |
| 解像度 | 8,192(H) x 8,192(V) |
| 出力フレームレート | 64.5fps (CXP-12 Quad, Bayer 8bit) 31.6fps (CXP-6 Quad, Bayer 8bit) 15.8fps (CXP-12, Bayer 8bit) 8fps (CXP-6, Bayer 8bit) |
| 画素サイズ | 2.5μm x 2.5μm |
| 撮像面積 | 20.48mm(H) x 20.48mm(V) |
| 撮像サイズ | 1.8型 (APS-C) |
| アスペクト比 | 1:1 |
| 走査方式 | プログレッシブ |
| 電子シャッタ方式 | グローバルシャッタ |
| トリガモード | 外部トリガ / ソフトウェアトリガ / リンクトリガ |
| トリガ露光モード | Edge / Level / Bulk (255回) |
| シーケンシャルシャッタ | 最大16エントリー |
| 露光時間 | MANUAL : 10μs ~ 1s ランダムトリガシャッタ : 10μs ~ 1s (Edge / Bulkモード), 200μs ~ パルス幅 (Levelモード) |
| 同期方式 | 内部同期 |
| オンチップカラーフィルタ配列 | RGB原色モザイクオンチップカラーフィルタ |
| 光学ガラス/フィルタ | IRカットフィルタ |
| 感度 | 2,100 lx (F5.6, 1/66.7s) |
| 最低被写体照度 | 2 lx (F1.4, ゲイン: +36dB, 映像出力: 50%) |
| ゲイン | マニュアル : 0 ~ +36dB |
| 黒レベル | -25% ~ +25% |
| LUT | 入力12bit, 出力12bit |
| ホワイトバランス | マニュアルホワイトバランス / ワンプッシュホワイトバランス |
| 映像出力フォーマット | (Bayer 12bit, Bayer 10bit,) Bayer 8bit |
| 読出しモード | 全画素, スケーラブル, ビニング, 水平反転, 垂直反転 |
| トリガ入力 | Low: 0 ~ 0.5V, High: 2 ~ 24.0V 正/負両極性切換, パルス幅: 最小200μs |
| 電源 | PoCXP または 外部コネクタ : +24V (18.5V~26V) ch1のみ対応 |
| 消費電力 | 13.3W 以下 |
| レンズマウント | マウントレス (Φ50 H7) |
| 外形寸法 | 60(W) x 60(H) x 80(D) mm (突起物を含まず) |
| 質量 | 約280g |
| 使用温度 | 0°C ~ 40°C (筐体表面温度 60°C 以下) |
| 使用湿度 | 10% ~ 90% (非結露) |
| 各種規格 | CE, FCC, RoHS, WEEE, CoaXPress 2.0, GenICam, IIDC2 |
紹介動画
国際画像機器展2020にて行ったデモンストレーション動画です。
関連資料
【活用事例1】 CoaXPress 67Mカメラを使用した基板検査
6,711万画素カメラ「EX670AMG-X」(画素数：8,192×8,192)と419万画素カメラ(画素数：2,048×2,048)で基板を撮像した例をご紹介します。
EX670AMG-Xは419万画素カメラの16倍の画素数・高解像度が必要な検査に最適なカメラです。
また、ヴイ・エス・テクノロジー製レンズ「VS-HX3535」を使用することにより、高解像・高精細・高コントラストな撮像を行うことができます。
「EX670AMG-X」カメラの特長
- Teledyne e2v製の67MP高解像度グローバルシャッタCMOS白黒センサ搭載
- CXP-12 Quadの採用により、転送帯域50Gbpsを実現
- マウントレス構造、Fマウント／M42マウント変換用アダプタを用意
- 高解像度、高速撮像が必要な検査に最適
「VS-HX」シリーズレンズの特長
- APS-C対応の高解像度固定焦点レンズ（Fマウント／M42マウント対応可能）
- 約500g以下(レンズマウント部無し)と軽量・小型
- 中心から周辺にかけて従来機種よりも大幅に解像力を向上
- ディストーションやフレアを抑えた設計
株式会社ヴイ・エス・テクノロジー：VS-HXシリーズの詳細はこちら
※外部サイトへ移動します（別ウィンドウで開きます）
撮像画像の比較
EX670AMG-Xと419万画素カメラで同じ視野を撮像した際の画像を比較します。
本カメラは419万画素カメラに対して16倍の画素数があり、広視野・高精細・高コントラストの撮像が可能となります。
本カメラと「VS-HX」シリーズレンズを組み合わせて使用することにより、最大限の撮像性能を得ることができます。
この比較にあたり、本カメラの撮像レンズは「VS-HX3535」を、419万画素カメラはf=16mmレンズを使用しています。
また、2台のカメラは同じ視野を撮像し、同じ寸法の切り出しを行い、同じサイズに引き伸ばして比較をしています。
【被写体イメージ】
※クリックすると拡大します。
画像比較：「EX670AMG-X」カメラ画像 × 419万画素カメラ画像
※クリックすると拡大します。
考察
はんだ付け部の状況／ICに刻印された文字／回路パターンやシルク印刷部のエッジ感などが、419万画素カメラと同じ視野での撮像にも関わらず、本カメラが持つ画素数とレンズが持つ解像力により、高精細に表現されています。
【活用事例2】 CoaXpress 67Mカラーカメラを使用したウェハ検査
6,711万画素（67MP）カラーカメラ「EX670AMCG-X」(画素数：8,192×8,192)と419万画素（4MP）カラーカメラ(画素数：2,048×2,048)でウェハを撮像した例をご紹介します。
この事例ではヴイ・エス・テクノロジー製マクロレンズ「VS-L5018FL/F」を使用することにより、EXシリーズカメラのように大判センサを使用したカメラでも最適なマクロ撮像が可能になります。
「EX670AMCG-X」カメラの特長
- Teledyne e2v製の67MP高解像度グローバルシャッタCMOSカラーセンサ搭載
- CXP-12 Quadの採用により、転送帯域50Gbpsを実現
- マウントレス構造、Fマウント／M42マウント変換用アダプタを用意
- 高解像度、高速撮像が必要な検査に最適
「VS-L(F)」シリーズレンズの特長
- イメージサークル45Φ(f18/f25/f200mmを除く）
- 大型素子、ラインセンサーカメラ用マクロレンズ
- f18/f25/f35は無限遠での使用が可能
- 使用予定のカメラマウントに合わせて選択可能(M42、TFL他)
株式会社ヴイ・エス・テクノロジー：VS-L(F)シリーズの詳細はこちら
※外部サイトへ移動します（別ウィンドウで開きます）
撮像条件
EX670AMCG-Xと419万画素カメラで、ウェハのチップ部分を同じ分解能（解像度）で撮像した際の画像を比較します。
EX670AMCG-X用の撮像レンズは「VS-L5018FL/F」を使用しました。
※クリックすると拡大します。
画像比較：「EX670AMCG-X」カメラ画像 × 419万画素カメラ画像
4MPカメラではチップ約2個分が写っていますが、EX670AMCG-Xではチップ40個分の撮像ができることが分かります。
【被写体イメージ】
※クリックすると拡大します。
考察
EX670AMCG-Xは、撮像サイズ1.8型・画素サイズ2.5μm x 2.5μm（カラーとして5μm相当）のカラーカメラと大判で挟ピッチであるため、比較に使用した4MPカメラの1/1型・5.5μm x 5.5μmに比べてレンズ選定が厳しくなります。この条件を満足するレンズを使用することにより、分解能を維持した状態で広い面積を一度に撮像できることができます。
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